[20p-P4-1~19] 3.11 Photonic structures and phenomena

△ [20p-P4-19] Investigation on Fabrication of 3D Photonic Crystals by Batched Wafer Bonding Process of Multiple Layers (II)

〇Keisuke Kitano^1,2, Kenji Ishizaki¹, Kou Gondaira^1,2, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:Photonic Crystal,3D Photonic Crystal

我々は，2次元パターンを形成した層をウエハ融着法を用いて順次積層する手法によりストライプ積層型3次元フォトニック結晶を実現してきた．このような3次元構造において，より多層の構造を簡便に形成する手法として，大面積基板を用いた複数層の一括融着による作製法についてもこれまで検討してきた．今回，このような大面積基板の融着における位置合わせ精度について詳細に検討を行ったので報告する．