[20p-P4-1~19] 3.11 フォトニック構造・現象

[20p-P4-6] 低屈折率なシリカを用いた高Q値zipper共振器の作製

〇鐵本 智大¹、熊崎 基¹、古澤 健太郎²、関根 徳彦²、笠松 章史²、田邉 孝純¹ (1.慶大理工、2.情報通信研究機構)

キーワード：フォトニック結晶、微小光共振器、キャビティオプトメカニクス

可視光帯におけるフォトニック結晶共振器は量子情報処理の分野などで必要とされるが、シリカやシリコンナイトライドなどの低屈折率材料を用いる必要があり，設計が難しい．また，キャビティオプトメカニクスの分野ではヤング率の高いシリコンナイトライドが多く利用されるが，シリカなどの比較的柔らかい材料を用いた応用は限られていた．本研究では，シリカを用いて可視域でQ=2.7×10³を有する高Q値なzipper共振器の作製に成功した．