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[20p-P5-10] Multiple Silver-Film Subwavelength Grating Polarizers for Mid-Infrared
Keywords:Polarizers,Mid-Infrared
金属薄膜サブ波長格子構造偏光子は,中赤外域からテラヘルツ帯の新しい偏光子として期待できる.中赤外用としては先に多重格子構造を提案し,Alを金属層とした偏光子を作製し,高消光比が実現できることを示した. 今回,用いる金属種を検討し, Alより複素屈折率の絶対値が大きいAgを用いた場合の偏光子の光学特性を調査した.また,挿入損失をより低減化するため,基板裏面への反射防止層の形成も検討したので併せて報告する.