[20p-P5-1~13] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[20p-P5-7] Spot Size Converter Using Thick Resist SU-8

〇Takuma Sennichi¹, Yuuto Nakashima¹, Yoshiteru Amemiya¹, Tetsuo Tabei¹, Shin Yokoyama¹ (1.RNBS)

Keywords:spot size converter

Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている。一方で、3μmと厚いSiONとSi導波路を高い選択比でドライエッチングすることは難しい。そこで、容易に厚膜が形成できるレジストSU-8を中間屈折率クラッドに用いたSSCを作製、評価を行った。