13:30 〜 15:30
[20p-P5-7] 厚膜レジストSU-8を用いたスポットサイズコンバータ
キーワード:スポットサイズコンバータ
Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている。一方で、3μmと厚いSiONとSi導波路を高い選択比でドライエッチングすることは難しい。そこで、容易に厚膜が形成できるレジストSU-8を中間屈折率クラッドに用いたSSCを作製、評価を行った。
一般セッション(ポスター講演)
3 光・フォトニクス » 3.14 光制御デバイス・光ファイバー
2016年3月20日(日) 13:30 〜 15:30 P5 (屋内運動場)
13:30 〜 15:30
キーワード:スポットサイズコンバータ