[20p-P7-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[20p-P7-4] アノードエッチングにより作製したGaAsナノワイヤの電気特性に対する湿式水素曝露効果

〇山田 航平¹、相川 慎也¹、橋本 英樹¹、阿相 英孝¹、小野 幸子¹ (1.工学院大工)

キーワード：アノードエッチング、ガリウムヒ素、水素曝露