[20p-P8-1~6] 9.3 ナノエレクトロニクス

[20p-P8-5] プラズマ励起法を用いたナノ微粒子用原子層堆積装置開発

〇菊地 航¹、鹿又 健作²、有馬 ボシルアハンマド²、久保田 繁²、廣瀬 文彦² (1.山形大工、2.山形大院理工)

キーワード：原子層堆積、ナノ粒子

微粒子表面の改質法として、原子層堆積法(ALD)が注目されている。我々はプラズマ励起技術を活用して、ナノ微粒子表面に酸化チタン被膜を室温形成できる原子層堆積技術を開発した。本研究では、ナノサイズの金微粒子を材料に酸化チタン被膜を試みた。