1:30 PM - 3:30 PM
[20p-P9-12] Anodic oxidation of GaN surface utilizing photoelectrochemical reactions
Keywords:anodic oxidation
GaN表面の陽極酸化は、一般にバンドギャップ以上のエネルギーを持つ光(hn > 3.4eV: Eg)を反応表面へ照射しながら行われる。本研究では、陽極酸化膜厚の精密な制御と反応過程の詳細を明らかにするため、単色光の波長および入射方向を変えながら陽極酸化を行った。