[20p-P9-1~22] 13.8 Compound and power electron devices and process technology

[20p-P9-12] Anodic oxidation of GaN surface utilizing photoelectrochemical reactions

〇Masaaki Edamoto¹, Yusuke Kumazaki¹, Taketomo Sato¹ (1.Hokkaido Univ. RCIQE)

Keywords:anodic oxidation

GaN表面の陽極酸化は、一般にバンドギャップ以上のエネルギーを持つ光(hn > 3.4eV: E_g)を反応表面へ照射しながら行われる。本研究では、陽極酸化膜厚の精密な制御と反応過程の詳細を明らかにするため、単色光の波長および入射方向を変えながら陽極酸化を行った。