[20p-P9-1~22] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-P9-12] 光電気化学反応を利用したGaN表面の陽極酸化

〇枝元 将彰¹、熊崎 祐介¹、佐藤 威友¹ (1.北海道大量集セ)

キーワード：陽極酸化

GaN表面の陽極酸化は、一般にバンドギャップ以上のエネルギーを持つ光(hn > 3.4eV: E_g)を反応表面へ照射しながら行われる。本研究では、陽極酸化膜厚の精密な制御と反応過程の詳細を明らかにするため、単色光の波長および入射方向を変えながら陽極酸化を行った。