[20p-P9-1~22] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-P9-18] 高濃度Snドープbeta-Ga₂O₃(-2 0 1)単結晶の温度特性の検討

〇大石 敏之¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工)

キーワード：酸化ガリウム