[20p-P9-1~22] 13.8 Compound and power electron devices and process technology

[20p-P9-22] Development of Ultra Accelerated Quantum Chemical Molecular Dynamics Method and Application to Compound Semiconductor Process

〇Yukie Ishizawa¹, Kenji Inaba¹, Yukiko Obara¹, Emi Sato¹, Manami Sato¹, Masayuki Miyano¹, Patrick Bonnaud¹, Ryuji Miura¹, Ai Suzuki¹, Naoto Miyamoto¹, Nozomu Hatakeyama¹, Akira Miyamoto¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:semiconductor,artificial intelligence

従来、量子分子動力学法に用いる各原子のパラメーターを手動でフィッティングしていたが、人工知能を用いて精度良く生成熱などの実験データや第一原理計算で得られた電荷やs軌道・p軌道の割合を再現する事の出来るパラメーターを自動決定する事に成功した。本研究では、当研究室で開発した超高速化量子分子動力学シミュレーションにこの新しい手法を組み込み、化合物半導体プロセスに適用した例を報告する。