[20p-P9-1~22] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-P9-22] 人工知能融合超高速化量子分子動力学法の開発と化合物半導体プロセスへの応用

〇石澤 由紀江¹、稲葉 賢二¹、小原 幸子¹、佐藤 絵美¹、佐藤 愛美¹、宮野 正之¹、ボノー パトリック¹、三浦 隆治¹、鈴木 愛¹、宮本 直人¹、畠山 望¹、宮本 明¹ (1.東北大学)

キーワード：半導体、人工知能

従来、量子分子動力学法に用いる各原子のパラメーターを手動でフィッティングしていたが、人工知能を用いて精度良く生成熱などの実験データや第一原理計算で得られた電荷やs軌道・p軌道の割合を再現する事の出来るパラメーターを自動決定する事に成功した。本研究では、当研究室で開発した超高速化量子分子動力学シミュレーションにこの新しい手法を組み込み、化合物半導体プロセスに適用した例を報告する。