[20p-S011-9~20] 17.2 Graphene

[20p-S011-17] Graphene Synthesis from Graphene Oxide using CH₄ Plasma with Cu catalyst

〇Seiji Obata¹, Keishi Akada¹, Koichiro Saiki¹ (1.Univ. of Tokyo)

Keywords:graphene,graphene oxide,plasma

我々が開発した、銅とCH₄プラズマを用いた絶縁基板上での酸化グラフェンからのグラフェン直接成長について、銅触媒の役割、グラフェンの生成機構についてRaman分光やEDXなどの結果をもとに議論する。また生成したグラフェンを用いたFETデバイスを利用した伝導測定の結果についても報告する。