[20p-S011-9~20] 17.2 グラフェン

[20p-S011-17] 銅触媒とCH₄プラズマを用いた酸化グラフェンからのグラフェン生成

〇小幡 誠司¹、赤田 圭史¹、斉木 幸一朗¹ (1.東大新領域)

キーワード：グラフェン、酸化グラフェン、プラズマ

我々が開発した、銅とCH₄プラズマを用いた絶縁基板上での酸化グラフェンからのグラフェン直接成長について、銅触媒の役割、グラフェンの生成機構についてRaman分光やEDXなどの結果をもとに議論する。また生成したグラフェンを用いたFETデバイスを利用した伝導測定の結果についても報告する。