[20p-S011-9~20] 17.2 グラフェン

△ [20p-S011-20] プラズマCVDのグラフェン合成におけるガス残渣の影響

〇沖川 侑揮^1,2、加藤 隆一²、山田 貴壽^1,2、石原 正統^1,2、長谷川 雅考^1,2 (1.産総研、2.TASC)

キーワード：グラフェン、プラズマCVD、ガス残渣