[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20p-S222-5] 熱処理による固相成長を用いた単結晶化に向けたZnO積層膜の構成に関する考察

〇碓井 将也¹、渡部 晃弘²、千葉 博²、川島 知之²、鷲尾 勝由² (1.東北大工、2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、RFマグネトロンスパッタ、バナジウム