[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20p-S222-6] c面サファイア上アモルファスZnO/V添加ZnO積層膜の熱処理による固相成長

〇渡部 晃弘¹、碓井 将也²、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工、2.東北大工)

キーワード：酸化亜鉛、RFマグネトロンスパッタ、固相成長