[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20p-S222-9] 水素を添加したZnO単結晶の欠陥と電気特性

〇大澤 健男¹、坂口 勲¹、上田 茂典¹、大橋 直樹¹ (1.物材機構)

キーワード：酸化亜鉛、電気特性、水素

酸化亜鉛(ZnO) を用いた高機能デバイスを創出する研究が進展している．しかし，近年に育成された高純度なZnO 単結晶でさえ，格子欠陥や微量不純物の課題が未だに残されており，近年では，ドナーとしての水素不純物についての議論が繰り広げされている．これらの複雑なメカニズムを解明することを目指し，本研究では，熱処理等を施した複数のZnO単結晶に水素を添加することで，結晶中の欠陥や電子物性の変化を見出したので報告する．