[20p-S223-9~17] 13.9 光物性・発光デバイス

[20p-S223-15] スパッタリング併用MOCVD法によるTm,Yb共添加ZnO薄膜の作製と発光特性

〇亀井 勇人¹、高野 翔太¹、吉居 玄哉¹、児島 貴徳¹、小泉 淳¹、藤原 康文¹ (1.阪大院工)

キーワード：ZnO、Tm、Yb