[20p-S321-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[20p-S321-16] Design of Vertically Coupled 2D Optical Phased Array Scanning Device on InP

〇Masaharu Fukuda¹, Kento Komatsu¹, Takuo Tanemura¹, Yoshiaki Nakano¹ (1.the Univ. of Tokyo)

Keywords:semiconductor photonic integrated device,optical phased array,optical scanning

InP/InGaAsP導波路端面に45°一括ミラーを配置した2次元光フェーズドアレイ素子を設計し，3次元FDTDおよび2次元フーリエ解析によりスキャニング特性を検証した．10×10，および，16×16アレイを設計し，0.88°の掃引角（それぞれ0.10°，0.048°の半値全幅）が得られた．光センシングや無線光通信への応用が期待される．