[20p-S322-1~17] 1.6 超音波

[20p-S322-1] 【講演奨励賞受賞記念講演】 極性反転構造のZnO及びScAlN圧電薄膜の形成と弾性波デバイス応用

〇森 剛志¹、鈴木 雅視²、柳谷 隆彦² (1.名工大、2.早稲田大)

キーワード：ScAlN、ZnO、圧電デバイス