2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

1 応用物理学一般 » 1.6 超音波

[20p-S322-1~17] 1.6 超音波

2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:15 S322 (南3号館)

近藤 淳(静岡大)、松川 真美(同志社大)

16:45 〜 17:00

[20p-S322-12] 高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO3基板への適用 ―

垣尾 省司1、勝谷 信介1、保坂 桂子1 (1.山梨大院)

キーワード:リーキー弾性表面波、AlN薄膜、LiTaO3

高音速なAlN薄膜装荷によるリーキー弾性表面波(LSAW)の低損失化手法の,LiTaO3(LT)基板への適用を理論的,実験的に検討した.0°YカットLTを用いた実験では,LSAWの挿入損失と伝搬損失が,AlN薄膜装荷後に格段に低減した.