[20p-S323-1~11] 9.5 新機能材料・新物性

[20p-S323-5] 水熱合成法によるTiO₂粒子の合成とその直接噴霧型製膜技術の開発

〇中根 茂行¹、河野 健太^1,2、細野 真平^1,2、安川 雪子²、知京 豊裕¹、名嘉 節¹ (1.物材機構、2.千葉工大)

キーワード：TiO2、ナノ粒子、製膜

TiO₂は、様々な分野で研究されている酸化物だが、その大半が作製容易なルチル型とアナターゼ型に関するものである。本研究では、報告事例の少ないブルッカイト型や他の構造のTiO₂に関する研究を行うため、こうしたTiO₂相について、薄膜化を想定した作製技術開発を行った。本発表では、まず、ブルッカイト型等のTiO₂粒子の合成法を、そして、その製膜化技術として開発した「水熱条件下でナノ粒子合成から製膜まで連続的に行う装置」について報告する。