[20p-S421-1~12] 17.3 層状物質

△ [20p-S421-12] Ti_0.87O₂ナノシートの固相変態による極薄TiO_xアナターゼFET

〇関崎 舜也¹、長田 実²、佐々木 高義²、長汐 晃輔^1,3 (1.東大マテリアル、2.NIMS、3.JST-さきがけ)

キーワード：アナターゼ、二次元材料、FET

アナターゼTiO_xのFET応用において結晶性の良いアナターゼを得るには通常20nm以上の厚さが必要であるため表面にはキャリアがほとんど誘起されない．ここでTi_0.87O₂ナノシートは厚さ0.7nm程度の層状物質であり，高温域でアナターゼ，さらにはルチルに固相変態することが知られている．このTi_0.87O₂ナノシートをアナターゼに固相変態させ極薄アナターゼFETを作製することができれば，アナターゼ表面にもキャリアを誘起できる可能性がある．本研究では，Ti_0.87O₂ナノシートから10nm以下の極薄アナターゼFETを作製し，FET特性を評価することを目的とした．