[20p-S622-1~19] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [20p-S622-1] MEMS技術による表面プラズモン異常透過現象の励起波長連続可変制御

〇本間 浩章^1,2、高橋 一浩¹、石田 誠¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大、2.特別研究員DC2)

キーワード：表面プラズモン、MEMS、波長可変フィルタ

中空Alサブ波長格子とMEMS静電櫛歯アクチュエータを一体化した表面プラズモン可変フィルタを提案し，周期構造に変化を与えることで表面プラズモンの励起波長を連続的に可変制御した結果を報告する．製作した表面プラズモン可変フィルタにより，駆動電圧60 Vで可視域内での126 nmの励起波長のシフトに成功した．この技術を用いることで，表面プラズモン異常透過現象の能動素子への応用展開が期待できる．