[20p-S622-1~19] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[20p-S622-12] Measurement of electric field enhancement produced by an optical antenna using SiC surface phonon polaritons

〇YUTA KUNICHIKA¹, Jyunichi Miyata¹, Yuto Yamamoto¹, Takahiro Kawano¹, Kenichi Kasahara¹, Naoki Ikeda², Hirotaka Osato², Yoshimasa Sugimoto² (1.Ritsumeikan Univ., 2.NIMS)

Keywords:electric field enhancement,Surface Phonon Polariton,optical antenna

我々は光検出器の上への光アンテナ搭載を検討している。これまで、Si基板上に中間層(SiO₂やAl₂O₃)を形成し、その上にアンテナを搭載した構造を作製してきた。この構造で、中間層の厚さを変えたときの反射特性を調べるが、反射特性には表面フォノンポラリトン信号が含まれる。この信号の層厚依存性を観測することで、電界増強度の深さ依存性を把握することが出来る。SiO₂やAl₂O₃は非晶質であったが、今回はより明瞭なSPhP信号が期待できるSiCを用いて調べた。