[20p-S622-1~19] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[20p-S622-12] SiC表面フォノンポラリトンによる光アンテナ電界増強度の測定

〇國近 祐太¹、宮田 純一¹、山本 悠人¹、川野 貴裕¹、笠原 健一¹、池田 直樹²、大里 啓考²、杉本 喜正² (1.立命館大理工、2.物質・材料研究機構)

キーワード：電界増強度、表面フォノンポラリトン、光アンテナ

我々は光検出器の上への光アンテナ搭載を検討している。これまで、Si基板上に中間層(SiO₂やAl₂O₃)を形成し、その上にアンテナを搭載した構造を作製してきた。この構造で、中間層の厚さを変えたときの反射特性を調べるが、反射特性には表面フォノンポラリトン信号が含まれる。この信号の層厚依存性を観測することで、電界増強度の深さ依存性を把握することが出来る。SiO₂やAl₂O₃は非晶質であったが、今回はより明瞭なSPhP信号が期待できるSiCを用いて調べた。