[20p-W321-1~13] Progress in studies on laser-processing employing liquid media

[20p-W321-3] Preparation and Characterization of Nanoparticles by Laser Ablation of SiAlON
in the Liquid Nitrogen

〇Touichirou Tomiya¹, Haohao Wang¹, Takashi Takeda², Naoto Hirosaki², Koichi Sasaki³, Tetsuji Yano¹, Osamu Odawara¹, Hiroyuki Wada¹ (1.Tokyo Inst. Tech., 2.Natl. Inst. Mat. Sci., 3.Hokkaido Univ.)

Keywords:Laser Ablation in liquid,Nanoparticles,SiAlON

本研究では液体窒素中でレーザーアブレーションを行うことにより、試料の酸化を防ぐことを試みた。試料としてサイアロンを使用した。作製されたナノ粒子に対してSEM、TEM-EDXで評価、またXPSで照射前後の試料を評価した。結果として試料由来のナノ粒子を作製することに成功したが、窒素の組成比などに変化が見られた。よって液体窒素中レーザーアブレーションにより試料は分解過程を経てナノ粒子化したと結論する。