[20p-W321-1~13] 液中レーザープロセス技術の展開

[20p-W321-3] 液体窒素中でのレーザーアブレーションによるサイアロンを用いたナノ粒子の作製と評価

〇富谷 統一郎¹、王 浩浩¹、武田 隆史²、広崎 尚登²、佐々木 浩一³、矢野 哲司¹、小田原 修¹、和田 裕之¹ (1.東工大、2.物材機構、3.北大)

キーワード：液中レーザーアブレーション、ナノ粒子、サイアロン

本研究では液体窒素中でレーザーアブレーションを行うことにより、試料の酸化を防ぐことを試みた。試料としてサイアロンを使用した。作製されたナノ粒子に対してSEM、TEM-EDXで評価、またXPSで照射前後の試料を評価した。結果として試料由来のナノ粒子を作製することに成功したが、窒素の組成比などに変化が見られた。よって液体窒素中レーザーアブレーションにより試料は分解過程を経てナノ粒子化したと結論する。