[20p-W331-1~8] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [20p-W331-1] Development of Si Neural Probe with Piezoresistive Strain Sensor

〇Takuya Harashima¹, Takaharu Tani¹, Yusaku Suzuki¹, Takumi Morikawa², Hisashi Kino³, Takafumi Fukushima¹, Tetsu Tanaka^1,4 (1.Dept. of Bioengineering and Robotics Tohoku Univ., 2.Dept. of Mechanical and Aerospace Engineering Tohoku Univ., 3.FRIS, Tohoku Univ., 4.Dept. of Biomedical Engineering Tohoku Univ.)

Keywords:neural probe

シリコン神経プローブは、脳研究においてガラス管電極や金属線電極では代替できない重要な役割を担っている。しかし、シリコンという脆性材料を使用しているために、脳への刺入時に予期せぬ変形や荷重が加わることによる破壊の可能性がある。本研究では、シリコン神経プローブに応力センサを集積することで刺入時に神経プローブに加わる荷重を検知し、破壊に至る前に刺入を一時停止して破壊を防止する神経プローブの開発を行った。