[20p-W641-1~9] 誘電体・強誘電体材料評価・解析技術の最先端

[20p-W641-9] 薄膜材料の正・逆圧電特性評価

〇神野 伊策¹、辻浦 裕一¹、黒川 文弥¹、肥田 博隆¹ (1.神戸大工)

キーワード：強誘電体、薄膜、圧電

優れた電気機械変換効率を有する圧電材料をMEMSデバイスに応用する取り組みが活発化している．圧電MEMSを実現するための要素技術として，圧電材料の薄膜化技術に加え，薄膜材料の圧電特性評価技術を確立する必要がある．これまで我々は，圧電薄膜を成膜した基板をカンチレバー状に切り出し，その正圧電効果および逆圧電効果について評価を行ってきた．本講演では，薄膜材料の圧電特性とその特徴について紹介する．