[21a-H101-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-H101-10] WC電極とW₂C電極によるSiCショットキーダイオードの電気特性評価

〇(M1)鈴木 智之¹、若林 整¹、筒井 一生¹、岩井 洋¹、角嶋 邦之¹ (1.東工大総理工)

キーワード：シリコンカーバイド、タングステンカーバイド、ショットキーダイオード