[21a-H101-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [21a-H101-9] レーザアニールによる4H-SiC C面上のTi-Si-Cオーミックコンタクトの形成

〇ミランタ デシルワ¹、川崎 輝尚²、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広島大学ナノデバイス、2.住友重工)

キーワード：SiC、オーミック、レーザアニール