[21a-H111-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-H111-4] 深紫外線センサの応用に向けたNi_1-xMg_xO膜の酸素空孔が及ぼす吸収スペクトルへの影響とバンドギャップの評価

〇西谷 拓樹¹、太田 晃平¹、北野 総佑¹、濱野 亮介¹、稲田 貢¹、清水 智弘¹、新宮原 正三¹、幸塚 広光¹、齊藤 正¹ (1.関西大学)

キーワード：酸化物半導体、酸素空孔、ソーラーブラインド型紫外線センサ