[21a-H111-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-H111-7] (Zn_1-xNi_x)O混合体のバルク相分離構造解析及びエピタキシャル相分離薄膜成長

〇(M1)李 明宇¹、中川原 修²、服部 梓¹、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.株式会社村田製作所)

キーワード：3Dナノヘテロ構造、相分離、酸化物半導体