[21a-P1-1~5] 1.1 Interdisciplinary and General Physics

[21a-P1-3] Raman spectroscopy observation of ta-C thermal damage in Argon atmosphere

〇TOMOMI KOZU¹, MAKOTO YAMAGUCHI², MASAHIRO KAWAGUCHI³ (1.RENISHAW, 2.Akita Univ., 3.TIRI)

Keywords:Diamond like carbon,Raman spectroscopy,Deep ultraviolet

ta-Cはコーティング材料として使用され、その評価には深紫外ラマン分光が有効である。しかし紫外光照射により損傷が起こり正確な評価が行えない。ta-Cの損傷の挙動を調べる為に今回は不活性ガス中での熱損傷をラマン分光を用いて観察した。