[21a-P1-1~5] 1.1 応用物理一般・学際領域

[21a-P1-3] アルゴン雰囲気中での加熱によるta-C薄膜損傷のラマン分光観察

〇神津 知己¹、山口 誠²、川口 雅弘³ (1.レニショー、2.秋田大学、3.都立産技研)

キーワード：ダイヤモンド状炭素、ラマン分光、深紫外光

ta-Cはコーティング材料として使用され、その評価には深紫外ラマン分光が有効である。しかし紫外光照射により損傷が起こり正確な評価が行えない。ta-Cの損傷の挙動を調べる為に今回は不活性ガス中での熱損傷をラマン分光を用いて観察した。