[21a-P2-1~52] 1.2 Education

[21a-P2-44] Ion source development for surface analysis

〇Kenji Yamada¹, Yuki Teraoka¹, Yasuhiro Tamayama², Kanji Yasui² (1.NIT,Ishikawa College, 2.NagaokaUniv.of Tech.)

Keywords:Graduation Thesis,Ion source,Surface Analysis

超高真空環境を要する固体表面の研究には，何らかの入射ビーム源と表面からの信号を検出するアナライザー，それらを制御計測するシステムが必要となる。高専教育の特色としてものづくり教育があり，これまで製作指導してきた実験装置を振り返り，指導方法について報告する。昨今の教育現場においてALに大きな期待が集まっている。最終学年の集大成としてまとめる卒業研究に対する学生の取組みを支援する位置付けがよいと考える。