[21a-P3-1~12] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[21a-P3-9] Stabilization of XPS Spectra’s Analysis by using Modified Active Shirley Method

〇Hiromi Tanaka¹, Yugo Nishizawa¹, Ryo Matsumoto^2,3, Hideki Yoshikawa², Shigeo Tanuma², Kazuhiro Yoshihara⁴ (1.NIT, Yonago college, 2.NIMS, 3.Univ. of Tsukuba, 4.Scienta Omicron, Inc.)

Keywords:spectrum analysis,automation

X線光電子分光（XPS）は材料の化学結合状態を同定できるため様々な産業分野へ導入されつつある。しかしXPSスペクトル解析は解析者によって結果が異なる。我々は最近、この問題を抑制した動的Shirley法によるバックグラウンド(BG)推定およびそれと連動したピーク分離の自動化を行った。しかし、本手法でもBG処理が難しいXPSスペクトルが存在するため、更なる汎用性向上を目指したアルゴリズムを提案した。