[21a-P3-1~12] 1.3 新技術・複合新領域

[21a-P3-9] 改良型動的Shirley法によるXPSスペクトル解析の安定化

〇田中 博美¹、西澤 侑吾¹、松本 凌^2,3、吉川 英樹²、田沼 繁夫²、吉原 一紘⁴ (1.米子高専、2.物材機構、3.筑波大院、4.シエンタ オミクロン)

キーワード：スペクトル解析、自動化

X線光電子分光（XPS）は材料の化学結合状態を同定できるため様々な産業分野へ導入されつつある。しかしXPSスペクトル解析は解析者によって結果が異なる。我々は最近、この問題を抑制した動的Shirley法によるバックグラウンド(BG)推定およびそれと連動したピーク分離の自動化を行った。しかし、本手法でもBG処理が難しいXPSスペクトルが存在するため、更なる汎用性向上を目指したアルゴリズムを提案した。