[21a-P6-1~17] 3.9 Terahertz technologies

[21a-P6-17] Improvement of Light Receiving Efficiency of Asymmetric Dual-Grating-Gate Plasmonic THz-Wave Detectors by Array Configuration and Integration with Hyper-Hemispherical Silicon Lens

〇Hiroki Taniguchi¹, Fuduki Kasuya¹, Takayuki Watanabe¹, Tetsuya Suemitsu¹, Taiichi Otsuji¹, Yuma Takida², Hiromasa Ito², Hiroaki Minamide², Tadao Ishibashi³, Makoto Shimizu⁴, Akira Sato¹ (1.Tohoku Univ., 2.RIKEN, 3.NTT Elecrtonics Techno, 4.NTT Electronics)

Keywords:Plasmon,HEMT,THz-Wave Detection

我々は非対称二重格子ゲートを有するInP HEMTを開発し、従来の検出器を上回る検出感度を記録している。しかし、THz波の集光スポットサイズに比して同素子のアクティブエリアははるかに小さく、受光効率（光結合効率）の低さが課題の一つであった。そこで、(1)同素子の直列接続アレイ化による実効アクティブエリアの増大、(2)単体素子の超半球シリコンレンズ集積による集光スポットサイズの改善を行ない、効果の検証をした結果を報告する。