[21a-P6-1~17] 3.9 テラヘルツ全般

[21a-P6-17] 非対称二重格子ゲート・プラズモニックTHz波検出器のアレイ化と超半球シリコンレンズ集積による受光効率向上

〇谷口 弘樹¹、糟谷 文月¹、渡辺 隆之¹、末光 哲也¹、尾辻 泰一¹、瀧田 佑馬²、伊藤 弘昌²、南出 泰亜²、石橋 忠夫³、清水 誠⁴、佐藤 昭¹ (1.東北大、2.理研、3.NTTエレクトロニクステクノ、4.NTTエレクトロニクス)

キーワード：プラズモン、HEMT、テラヘルツ波検出

我々は非対称二重格子ゲートを有するInP HEMTを開発し、従来の検出器を上回る検出感度を記録している。しかし、THz波の集光スポットサイズに比して同素子のアクティブエリアははるかに小さく、受光効率（光結合効率）の低さが課題の一つであった。そこで、(1)同素子の直列接続アレイ化による実効アクティブエリアの増大、(2)単体素子の超半球シリコンレンズ集積による集光スポットサイズの改善を行ない、効果の検証をした結果を報告する。