[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-12] 多結晶Si太陽電池評価のための顕微メスバウア分光装置の開発

〇伊野 裕司¹、副島 啓義¹、早川 一生¹、行平 憲一¹、藤田 浩享¹、渡辺 富夫¹、森口 幸一²、小粥 啓子²、原田 芳仁²、吉田 豊¹ (1.静岡理工科大、2.アプコ)

キーワード：多結晶シリコン、鉄汚染、メスバウア効果

我々は，シリコン太陽電池中での鉄不純物の挙動を明らかにするために，動作中の太陽電池中の鉄不純物の状態ごとの分布が観察可能な顕微メスバウア分光装置の開発を行っている．今回，顕微メスバウア分光装置にSEM，EBIC，EBSDを組み合わせ，同一視野で鉄不純物分布と結晶粒界との関連を観察可能にした．また，顕微メスバウア分光装置に電子分光器を搭載し，メスバウア効果に起因する電子のエネルギー検出を行うことで，鉄の深さ方向分布の情報を得ることを試みた．