[21a-P8-1~27] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials（Poster）

[21a-P8-19] Formation of Random Double Textures on Si Surfaces by Photoetching with N-fluoropyridinium Salt

〇tatsuya kumada¹, Kawai Kentaro¹, Nagai Takabumi², Kenji Adachi², Arima Kenta¹, Morita Mizuho¹ (1.Osaka Univ., 2.Daikin Industries, Ltd)

Keywords:semiconductor,Si solar cells

N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングにより、マイクロサイズの逆ピラミッドテクスチャ上にナノサイズのテクスチャを有したダブルテクスチャをSi表面に形成することができる。今回我々は、これまでの約0.5 cm径のエッチング領域を太陽電池セルのウエハサイズに拡大するため、ハロゲンランプを並列に配置して大面積光照射装置を作製し、エッチングを行っている。