[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-25] Cat-CVDで形成した窒化Si膜の高温アニール後のパッシベーション能力

〇西川 斉志¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：触媒化学気相堆積