[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-27] n型Si表面におけるPECVD-SiN_x:Hパッシベーション性に対する光照射・熱処理の効果

〇(PC)神岡 武文¹、岩橋 泰正¹、Lee Hyunju¹、佐藤 友理¹、中村 京太郎²、大下 祥雄¹ (1.豊田工大、2.明治大)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、パッシベーション、シリコン窒化膜