[21a-S221-1~11] 13.10 Compound solar cells

[21a-S221-9] Surface etching of CZTS thin films using H₂O₂

〇Hisashi Miyazaki¹, Hiroaki Kishimura¹, Masami Aono¹, Hironori Katagiri² (1.Natl. Def. Aca., 2.NITNC)

Keywords:CZTS,wet etching

CZTS薄膜表面をエッチングするために、過酸化水素水に浸漬させた。結果として、表面のエッチングが確認できた。また、表面は亜鉛が欠乏することもわかった。また、クラックも発生するため、この改善が必要である。