[21a-S221-1~11] 13.10 化合物太陽電池

[21a-S221-9] 過酸化水素水によるCZTS薄膜の表面エッチング

〇宮崎 尚¹、岸村 浩明¹、青野 祐美¹、片桐 裕則² (1.防衛大材料、2.長岡高専)

キーワード：CZTS、ウェットエッチング

CZTS薄膜表面をエッチングするために、過酸化水素水に浸漬させた。結果として、表面のエッチングが確認できた。また、表面は亜鉛が欠乏することもわかった。また、クラックも発生するため、この改善が必要である。