[21a-S223-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21a-S223-4] a-Si層挿入による表面電極/BaSi₂間の接触抵抗低減

〇谷内 卓¹、武内 大樹¹、高部 涼太¹、都甲 薫¹、末益 崇^1,2 (1.筑波大学、2.JST-CREST)

キーワード：接触抵抗